臭氧是一種帶有魚腥味的強氧化性氣體，在室溫下可還原成氧氣，它的比重比氧氣大，易溶于水，易分解。臭氧具有很強的氧化性和殺菌性，是強氧化劑之一，在水中的氧化還原電位僅次于氟。同時臭氧反應的產物是氧氣，所以臭氧是一種高效無二次污染的氧化劑。

在工業生產中，臭氧經常被用來對水進行消毒和凈化。但由于臭氧的氧化能力很強，水中殘留的臭氧如不去除，可能會影響下一道工序。因此，臭氧處理過的水在進入主工藝之前必須被去除殘留臭氧。

波長為254納米的UVC段紫外線對破壞殘余臭氧非常有效。它能將臭氧分解成氧氣，分解后的最終產物是氧氣，而不會向水中添加新的元素。但需要注意的是，在選擇低壓或中壓紫外線汞燈等除臭氧設備時，在劑量選擇上存在差異。

紫外線照射劑量和臭氧投加量相同的情況下，進水臭氧濃度越高，處理效果越明顯。這是因為當水中臭氧濃度較高時，可生成更高濃度的羥基自由基，對有機物的氧化作用更徹底，因此處理效果也更好。由此可見，處理效果不僅與紫外線的照射劑量有關，還與進氣中的臭氧濃度有關。紫外線燈紫外線劑量強度的監測可以使用紫外線傳感器